| политех. | epitaxial film | епитаксиален слой |
| политех. | epitaxial growth | епитаксиално нарастване |
| елн. | epitaxial junction | епитаксиален преход |
| политех. | epitaxial layer | епитаксиален слой |
| политех. | epitaxial region | епитаксиална зона |
| политех. | epitaxial thickness | дебелина на епитаксиален слой |
| политех. | epitaxial transistor | епитаксиален транзистор |